麻省理工学院、应用材料公司和东北微电子联盟中心将为麻省理工学院带来 200 毫米先进的研究能力。

以下是麻省理工学院和应用材料公司的联合声明。

麻省理工学院和应用材料公司今天宣布了一项协议，连同东北微电子联盟（NEMC）中心向麻省理工学院提供的赠款，承诺提供超过4000万美元的私人和公共投资，为麻省理工学院的纳米科学与工程中心增加先进的纳米制造设备和能力。此次合作将在美国创建一个独特的开放访问站点，该站点使用与大批量生产晶圆厂相同的设备，支持行业兼容规模的研发，以加速硅和化合物半导体、电力电子、光计算、模拟器件和其他关键技术的进步。

应用材料公司提供的设备和相关资金以及实物支持将显著增强麻省理工学院现有的制造高达200毫米（8英寸）晶圆的能力，这种尺寸对于消费电子、汽车、工业自动化、清洁能源等广泛市场中使用的半导体的工业原型设计和生产至关重要。该设备旨在填补学术实验和商业化之间的空白，将有助于建立一座桥梁，将早期创新与行业市场途径联系起来。

“一个出色的芯片新概念不会对世界产生影响，除非公司能够制作数百万份。麻省理工学院纳米与应用材料公司的合作将创造一个关键的开放获取能力，帮助创新从实验室工作台到工业铸造厂进行制造，“麻省理工学院研究副校长兼E. A. Griswold地球物理学教授Maria Zuber说。“我感谢应用材料公司对这一愿景的投资。新工具集的影响将波及整个麻省理工学院以及整个马萨诸塞州、该地区和全国。

应用材料公司是全球最大的半导体、显示器和其他先进电子产品制造设备供应商。该公司将在MIT.nano提供几种能够支持150和200mm晶圆的最先进的工艺工具，并将增强和升级麻省理工学院拥有的现有工具。除了协助麻省理工学院纳米分校进行设备的日常操作和维护外，应用材料公司的工程师还将开发新的工艺能力，使麻省理工学院及其他地区的研究人员和学生受益。

“芯片变得越来越复杂，200毫米器件的持续进步需求巨大，特别是碳化硅和氮化镓等化合物半导体，”应用材料公司副总裁兼ICAPS业务总经理Aninda Moitra说。“应用材料公司很高兴能与麻省理工学院纳米合作，在美国创建一个独特的开放访问站点，芯片生态系统可以在这里合作加速创新。我们与麻省理工学院的合作扩大了应用材料公司的大学创新网络，并进一步努力减少新技术商业化的时间和成本，同时加强了未来半导体行业人才的渠道。

由马萨诸塞州技术合作组织 （MassTech） 管理的 NEMC 中心将拨款 770 万美元来安装这些工具。NEMC 是一个区域“中心”，它连接和扩大了来自新英格兰、新泽西州和纽约州的不同组织的能力。美国国防部 （DoD） 将 NEMC 中心选为八个微电子共享中心之一，并获得了 CHIPS 和科学法案的资助，以加速关键微电子技术从实验室到晶圆厂的过渡，刺激新的就业机会，扩大劳动力培训机会，并投资于该地区的先进制造和技术部门。

微电子共享计划在联邦一级由负责研究和工程的国防部副部长办公室和海军水面作战中心起重机部门管理，并通过国家安全技术加速器（NSTXL）提供便利，该加速器组织执行位于全国各地的八个区域中心。公共部门对该项目的支持是在国防部和NSTXL领导人与NEMC中心成员会面期间参加的一次活动中宣布的。

“这些工具在 MIT.nano 的安装和操作将对 NEMC 中心的成员、马萨诸塞州和东北部地区经济以及国家安全产生直接影响。这就是《芯片和科学法案》的全部内容，“MassTech Collaborative 副主任兼 NEMC Hub 临时主任 Ben Linville-Engler 说。“这是NEMC中心为实现微电子共享空间的使命而进行的一项重要投资。”

MIT.nano 是一个占地 200,000 平方英尺的设施，位于麻省理工学院校园的中心地带，拥有能够接受这些先进工具的原始 100 级洁净室。其开放获取模式意味着MIT.nano的工具集和实验室不仅适用于校园，还可用于其他学术机构，非营利组织，政府和公司（从财富500强跨国公司到本地初创公司）的研究人员的早期研发。麻省理工学院纳米学院院长弗拉基米尔·布洛维奇（Vladimir Bulović）表示，他预计新设备将于2025年初上线。

“有了NEMC的重要安装资金，并与应用材料公司进行了全面而富有成效的规划过程，MIT.nano已准备好安装该工具集，并将其集成到我们广泛的能力中，为来自学术界、初创公司和成熟公司的1,100多名研究人员提供服务，”Bulović说，他也是麻省理工学院电气工程和计算机科学系新兴技术的Fariborz Maseeh教授。“我们渴望添加这些强大的新功能，并对随之而来的新想法、合作和创新感到兴奋。”

作为与麻省理工学院纳米协议的一部分，应用材料公司将加入麻省理工学院纳米联盟，这是一个由来自全球不同行业的12家公司组成的行业计划。在公司技术人员的贡献下，应用材料公司还将有机会与麻省理工学院的知识中心合作，包括继续成为微系统技术实验室的成员。